單軸壓電掃描臺(tái)/納米平移臺(tái)

AU-NPS-X系列納米定位工作臺(tái)采用壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為運(yùn)動(dòng)副，使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無(wú)機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋設(shè)計(jì)，精度可達(dá)到亞納米量級(jí)。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器，納米定位工作臺(tái)的響應(yīng)時(shí)間和穩(wěn)定時(shí)間可達(dá)到毫秒量級(jí)。

Nanopositioning Stages 亞納米定位工作臺(tái) 微定位工作臺(tái) 微動(dòng)臺(tái) 壓電精密定位系統(tǒng)，納米平移臺(tái)，納米定位臺(tái)，納米掃描臺(tái)，壓電平移臺(tái)

單軸壓電掃描臺(tái)/納米平移臺(tái)

AU-NPS-X系列納米定位工作臺(tái)zui初的設(shè)計(jì)是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用。納米定位工作臺(tái)采用壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為運(yùn)動(dòng)副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無(wú)摩擦、無(wú)間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，電容位移傳感器是將位移變化轉(zhuǎn)換為電容電量信號(hào)的變化。電容位移傳感器簡(jiǎn)單易用，而且擁有*的精度，可達(dá)到亞納米量級(jí)。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器，納米定位工作臺(tái)的響應(yīng)時(shí)間和穩(wěn)定時(shí)間可達(dá)到毫秒量級(jí)。低的移動(dòng)質(zhì)量和高的剛度結(jié)合可以提供非常高的帶寬。

對(duì)于大行程的納米定位臺(tái)，采用目前業(yè)內(nèi)zui*的雙傳感技術(shù)與以往相比可以提供更快的響應(yīng)速度，提高有效載荷出現(xiàn)變化時(shí)的穩(wěn)定性和更高的帶寬。這項(xiàng)突破性的技術(shù)能夠應(yīng)用于各種袖珍模擬和數(shù)字控制器，其操作簡(jiǎn)便，為用戶提供*性能。

公司的一維納米定位工作臺(tái)主要包含以下幾款產(chǎn)品：

①超緊湊型閉環(huán)亞納米微動(dòng)臺(tái)

AU-NPS-X-5A是一款已推出市面上體積zui小的閉環(huán)一微亞納米級(jí)別的微動(dòng)臺(tái)。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm（長(zhǎng)′寬′高）。應(yīng)用電容位移傳感器，位移分辨率達(dá)到亞納米級(jí)別。空載下的自振頻率更是高達(dá)8000HZ。采用鋁合金材質(zhì)，其擁有較輕的質(zhì)量和高的剛度，使其有高的帶寬，在zui大負(fù)載的情況下響應(yīng)時(shí)間可達(dá)到亞毫秒級(jí)別。

②超快一維亞納米定位平臺(tái)

AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動(dòng)臺(tái)，用于高速的、超精密的應(yīng)用。該設(shè)備在空載下的自振頻率高達(dá)9500HZ。在7g負(fù)載的情況下仍可達(dá)到8700HZ。并且該產(chǎn)品具有良好的位置重復(fù)性。擁有良好的響應(yīng)速度，響應(yīng)時(shí)間達(dá)到毫秒量級(jí)。并且該款產(chǎn)品可按照不同需求進(jìn)行工業(yè)定制。

③超大行程的一維納米微動(dòng)臺(tái)

AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為運(yùn)動(dòng)副，使其具有較緊湊的體積，使用電容傳感器，在整個(gè)行程中分辨率精度可高達(dá)亞納米級(jí)別。使用雙傳感設(shè)計(jì)，可提供更快的階躍響應(yīng)，提高有效載荷出現(xiàn)變化時(shí)的穩(wěn)定性，并擁有更大的帶寬，使其擁有更快的響應(yīng)時(shí)間。

④高負(fù)載大推力一維亞納米微動(dòng)臺(tái)

AU-NPS-X-30B是一款高負(fù)載的微動(dòng)臺(tái)，zui高負(fù)載可高達(dá)10kg。其擁有極寬的帶寬高達(dá)1KHZ。空載下的自振頻率更是高達(dá)5000HZ。

除了以上幾款產(chǎn)品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動(dòng)臺(tái)也擁有優(yōu)異的性能。外加負(fù)載可高達(dá)5kg。擁有較高的帶寬，在50g負(fù)載的情況下，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒量級(jí)。AU-NPS-X-15D和AU-NPS-X-15A屬于相同型號(hào)，但是具有更高的高度（15.5mm），因此擁有更高的剛度，因此具有較寬的帶寬、較低的穩(wěn)定時(shí)間和較高的自振頻率。

u  主要特點(diǎn)

• 亞納米的分辨率

• 高的帶寬

• 高速響應(yīng)

• 高的可靠性

• 結(jié)構(gòu)緊湊

• 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

• 柔性鉸鏈設(shè)計(jì)

• 電容位移傳感器閉環(huán)反饋

u  主要應(yīng)用

 磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)測(cè)試、計(jì)量學(xué)、干涉度量學(xué)、原子力顯微鏡等

u  產(chǎn)品主要參數(shù)